产品介绍

　　国家知识产权局信息数据显现，北京京仪自动化配备技能股份有限公司请求一项名为“一种液氮制冷半导体温控体系及办法”的专利，公开号CN121067563A，请求日期为2025年9月。

　　专利摘要显现，本请求公开了一种液氮制冷半导体温控体系，用于调理蚀刻设备的温度，温控体系包含液氮储槽、加热模块、制冷模块、液氮蒸腾设备和操控设备；液氮储槽内部用于输入液氮，加热模块包含加热管道和设置在加热管道的加热器，制冷模块包含制冷管道和设置在制冷管道的制冷器，加热管道、制冷管道的两端别离与液氮储槽、液氮蒸腾设备相连；液氮蒸腾设备与蚀刻设备热耦合且设置有榜首温度传感器，榜首温度传感器与操控设备通讯衔接；操控设备，根据榜首温度传感器收集的榜首实时温度和方针温度，操控加热管道、制冷管道的通断。可以躲避了现阶段氟化液运用温度受限、低温泵及低温流量计稳定性差的技能问题。

　　天眼查资料显现，北京京仪自动化配备技能股份有限公司，成立于2016年，坐落北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16800万人民币。经过天眼查大数据分析，北京京仪自动化配备技能股份有限公司共对外出资了3家企业，参加招投标项目99次，产业线条，此外企业还具有行政许可12个。

　　声明：商场有危险，出资需谨慎。本文为AI根据第三方数据生成，仅供参考，不构成个人出资主张。